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　　處理鍍膜設(shè)備灰塵的要求：
　　1、設(shè)備使用的源材料要符合純度要求。
　　2、設(shè)備樣品取出后要注意放置環(huán)境的清潔問題。
　　3、鍍膜一段時間后，真空室內(nèi)壁要清潔處理。
　　4、鍍膜清洗襯底材料，要做到嚴格合乎工藝要求。
　　5、鍍膜適當?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度，利于減少周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物。
　　6、工作人員在操作時需要戴手套、腳套等，要有相應(yīng)的服裝。